SHIMADZU Excellence in science

Shimadzu Korea Vacuum Equiment Co., Ltd.

PRODUCTINDUSTRIAL MACHINERY

BEST for Semi & FPD Customers

Turbo Molecular Pump

터보분자펌프(TMP)는 태양전지 및 반도체 제조공정에 필수적인 진공 환경을 만듭니다. 세계에서 최고수준의 배기능력을 자랑하는 시마즈의 제품 라인업은 점점 대형화되고 있는 태양전지모듈과 실리콘 웨이퍼 층의 증착 및 제조요구사항을 충족하도록 설계되었습니다.

Product Lineup
High Pumping Throughput Molecular Pump
TMP-1303
TMP-1503
TMP-2203
TMP-2804
TMP-3304
TMP-3804
TMP-4304
Turbo Molecular Pump with Integrated Power Supply
TMP-V1704
TMP-V2304
TMP-V3304
TMP-X4304, X3804
Combination Bearings

TMP-B300
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