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Shimadzu Korea Vacuum Equiment Co., Ltd.

PRODUCTINDUSTRIAL MACHINERY

BEST for Semi & FPD Customers

Oil Rotary Vacuum Pump

  • Ecology vacuum pump
  • Direct-coupled motor oil rotary vacuum pump
  • Small oil-rotary vacuum pump
  • Medium, large oil rotary vacuum pump
Ecology vacuum pump
항목 SMC-362 SMC-1302
E W B E W B
실제배기속도
(대기압, 60Hz에서)(I/min)
360 1300
도달압력(Pa) 6.7 × 10-2 6.7 × 10-2~300 ※1 3.0 6.7 × 10-2 6.7 × 10-2~300 ※1 3.0
연속운전시 압력(Pa) 2 × 103 2 × 103
대기압에서 연속운전시 압력
(제3항)까지 허용배기시간
1시간 이내 30분 이내
압력제어범위(Pt)※2 1 ~ 2 × 103 1 ~ 2 × 103
주파수 설정범위(Hz) 6 ~ 60
펌프의 허용 배기구압력(kPaG) 20이하
오일역류 방지장치 갑작스러운 정지(정전 등)대책을 위해 16시간 정도 오일 역류 방지장치 부착
(완전 방지를 위해서는 별도 역류방지 밸브를 설치하거나 대기에 개방합니다.)
흡입가스의 종류 공기 등의 일반 가스
흡입가스의 온도범위(℃) -10 ~ 50
사용환경의 온도범위(℃) 5 ~ 35
펌프유량(l) 0.8 2.8 0.8 2.8 ~ 3.3 4.8 ~ 5.3 2.8 ~ 3.3
전원 Φ3, AC200V, 50/60Hz
용량 0.88kW 2.4kW
흡기구 KF25 KF40
배기구 KF25 R2
무게(kg) 56 68 56 132 144 132

※1. W형은 오일 순환 유량(사용 상황에 따라 조정 가능)에 의해 도달 압력이 바뀝니다.
※2. 진공 레벨 단위 Pt는 Pa와 상응합니다. 그러나, 교정 된 값이 없습니다.

제품문의
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