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Shimadzu Korea Vacuum Equiment Co., Ltd.

PRODUCTINDUSTRIAL MACHINERY

BEST for Semi & FPD Customers

Oil Rotary Vacuum Pump

  • Ecology vacuum pump
  • Direct-coupled motor oil rotary vacuum pump
  • Small oil-rotary vacuum pump
  • Medium, large oil rotary vacuum pump
Direct-coupled motor oil rotary vacuum pump
항목 GDH-162 GDH-362 GDH-802 GDH-1302
실제배기속도
(대기압에서)
60Hz/50Hz(L/min)
160 / 135 360 / 300 800 / 660 1300 / 1080
도달압력
(흡기구 닫힌 경우)(Pa)
6.7 × 10-2
연속운전시의 압력 Pa 4 × 103이하 2 × 103다음
대기압에서 연속 운전시 압력
(제 3항)까지 허용배기시간
1 시간 이내 30 분 이내
펌프의 허용배기구 압력(KPaG) 20 이하
오일역류 방지장치 갑작스러운 정지(정전 등)대책을 위해 16시간 정도 오일 역류 방지장치 부착 (완전 방지를 위해서는 별도 역류방지 밸브를 설치하거나 대기에 개방합니다.)
흡입가스의 종류 표준형 공기 등의 일반 가스
C 형 Etching, CVD 등에 사용되는 부식성 가스
흡입가스의 온도범위(℃) -10 ~ 50
사용환경의 온도범위(℃) 5 ~ 40
소음 (흡기구 폐쇄시, 1m 위치에서)(dB) 약 55 약 60 약 68 약 70
펌프유량(L) 0.6 0.8 2.4 ~ 2.8 2.8 ~ 3.3
펌프회전방향(구동 축에서) 시계 방향
전동기※ 1 단상 콘덴서 모터
AC100/200V,50/60Hz
0.4kW,4P
삼상 교류 모터
AC200V,50/60Hz
AC220V,60Hz
0.75kW,4P
삼상 교류 모터
AC200V,50/60Hz
AC220V,60Hz
1.5kW,4P
삼상 교류 모터
AC200V,50/60Hz
AC220V,60Hz
2.2kW,4P

※1. 교차 전압·특수 모터 등의 대응도 가능합니다.

특수형
가스 밸러스트형(G형)
수증기 등의 응축성 가스의 액화를 방지하기 위해 대기 도입 밸브를 추가한 응축성 가스의 대책형.
화학형(C형)
부식처리 후 불소 고무를 사용하여 부식 방지형.
폰 브린형(F형)
반응성·내식성 물질에 대해 안정된 불소계 오일 사용 형.
제품문의
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