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Shimadzu Korea Vacuum Equiment Co., Ltd.

PRODUCTINDUSTRIAL MACHINERY

BEST for Semi & FPD Customers

Oil Rotary Vacuum Pump

  • Ecology vacuum pump
  • Direct-coupled motor oil rotary vacuum pump
  • Small oil-rotary vacuum pump
  • Medium, large oil rotary vacuum pump
Small oil-rotary vacuum pump

항목 SA-18-3M S-51-2M D-50-2M※2 D-150-2M※2
배기속도 (대기압)
60Hz/50Hz(L/min)
18 / 15 50 / 40 50 / 40 150 / 125
도달압력(Pa)주문 1 1 10-2 10-2
회전수
60Hz/50Hz(rpm)
700 / 580
유량(L) 0.3 2 1.4 2.7
흡기구 Φ14 Φ20 Φ20 Φ26
전동기※ 1 단상 AC100V 0.2KW,4P 단상 AC100V 0.4KW,4P

※1. 서로 다른 전압·특수 모터 등의 대응도 가능합니다.
※2. 방음 방진의-4M형·-5M형도 준비하고 있습니다.

특수형
특수형 가스 밸러스트형(G형)
수증기 등의 응축성 가스의 액화를 방지하기 위해 대기 도입 밸브를 추가 한 응축성 가스 대책형
제품문의
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